TFT-LCD面板行業的高世代化,對潔凈車間的設計提出了更高的要求,各項潔凈技術指標要求也隨之升高。液晶器件產品的生產一般要求潔凈車間清凈度10000級以上的, 局部工藝要求100級以上。根據工藝要求分為4 個區: A區為人身凈化及部分輔助辦公用房;B區為凈化車間生產區;C區為動力設施區;D區為倉儲用房。

玻璃基板的表面積大,容易落上灰塵,所以存儲、搬運、加工過程中要避免塵埃附著。TFT-LCD陣列工程是在厚度不足1毫米的玻璃基板上制作細且復雜的TFT層,由于這一工序決定液晶顯示器品質的至關重要的工程,需要盡可能地避免灰塵的污染及振動影響。
為了達到液晶面板潔凈車間的潔凈要求,就需要對新進入潔凈車間的空氣進行過濾,確保潔凈車間不被污染。而如何鑒定潔凈車間潔凈度是達標的,肯定不能用肉眼來觀察判定,需要用到專業的粒子監測器,比較常用的有PMS在線粒子連續監測系統。

PMS在線粒子連續監測系統

美國粒子監測系統公司 (PMS)是一家專注于環境粒子及微生物監測技術研究的公司,產品主要用于潔凈室的污染監測及控制。PMS可在清潔環境中計算粒子數量,并形成報表。PMS能夠在潔凈室持續監測,最小可監測粒徑 10nm以下的粒子,一旦空氣中塵埃超標,就能夠發出警報,讓管理員及時發現和處理,避免液晶產品品質下降,提高效益。