液晶產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要控制對象微粒和浮塵,同時還對潔凈室環境的溫度、濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。 

玻璃基板表面蒸鍍有一層 In2O3 或 SnO2 透明導電層, ITO 膜層,經光刻加工制成透明導電圖形。若是有積塵,將會很明顯,甚至致使器件報廢。 

依據美國聯邦政府頒布的標準【zhiFederal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為六級,分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。需要達到10級,10級無塵車間的標準是每立方英尺室內的空氣所含有大于或等于0.1μm的灰塵粒子不超過350顆,大于或等于0.3μm的灰塵粒子不超過30顆,大于或等于0.5μm的灰塵粒子不超過10顆。

要讓液晶產業工廠達到10級無塵車間的標準,就需要用到凈化設備了,比較常見的是FFU凈化設備了,FFUFan Filter Units的簡稱,意思是風機過濾單元,是一種自帶動力,具有過濾功能的末端送風裝置;風機從頂部將空氣吸入并經HEPA高效空氣過濾器過濾,過濾后將潔凈空氣從出風面均勻送出,為潔凈環境提供潔凈空氣和微粒過濾控制。

一般液晶無塵車間的換風量為30次/小時左右,如果FFU凈化單元出了故障,那么新進來的空氣的含塵量就會偏高,最終會導致液晶無塵車間的含塵量偏高,影響到液晶生產的正常運行。

廣科智能擁有豐富的凈化設備維修保養經驗,可維修FFU凈化單元的部件,如電機、控制元件、氣流均衡裝置……

 

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